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扩散硅压力传感器应力计算建模
出处: 时间: 2007-11-15
作 者:李进军;石成英

关键词:应力计算;扩散硅;压力

中图分类号:TP212.1

文献标识码:A

文章编号:1006-883X(2004)01-0036-03

简介:

本文依据弹性力学厚板原理建立扩散硅压力传感器的应力计算模型,根据电桥原理得到应力与其输出电压之间的关系。计算结果与标定值比较,吻合良好。



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