综述了TiO2氧敏传感器的发展概况、氧敏机理，并对以不同方法制备的TiO2氧敏器件性能进行了比较，分析了如何提高氧传感器的性能，并对TiO2氧敏传感器今后的发展和研究提出了几点建议。