作 者:王蕊 黄钊洪
关键词:锑化铟-铟;振动传感器;准全方位
中图分类号:TP212.13
文献标识码:A
文章编号:1006-883X(2005)02-0046-003
简介:本文最新研制了一种用锑化铟-铟(InSb-In)共晶体薄膜磁阻制成的准全方位振动传感器。其半导体磁头由位于上下方的两对方向垂直的InSb-In磁敏元件构成,将检测方位范围由一维空间扩展到现在的二维空间。经实测,磁头上方的磁敏元件灵敏度大于下方元件,输出信号相位差在00~1800之间,信噪比在30dB~32dB范围内。当温度-400C~800C之间变化时,信号处理电路输出稳定可靠。<br>资助项目:广东省自然科学基金重点项目(963058); 广东省高新技术产业发展资金(成果孵化)项目(98FF01)
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